应用自主设计刀具通过钻、铣、铰等精密加工技术，使流道、功能面&密封面实现高面粗度、高硬度的性能要求。

应用不锈钢镜面抛光技术，在机械加工的基础上进一步提高流道面粗度，实现高质量、高效率的复杂工位镜面抛光。

产品流道内表面粗糙度满足SEMI标准的同时可达主流国际客户的更高标准，实现气体流通最小湍流、紊流，满足气体传输的快速反应与耐腐蚀要求。